Не могу удалить файл с помощью rm

Я работаю с BusyBox v1.1.2 (2008.07.18-08:25+0000). Я хочу создать новый файл, я использую
touch ModelInfo
Но ответ
touch: ModelInfo: No space left on device
Итак, я проверяю свободное место:

/web/en $ df -h
Filesystem                Size      Used Available Use% Mounted on
/dev/root                14.0M     13.8M    236.0k  98% /
none                    256.0k     68.0k    188.0k  27% /syslog
none                      1.0M         0      1.0M   0% /tmp
nome                      7.0M      6.3M    728.0k  90% /onvif
none                      1.0M         0      1.0M   0% /mempic
none                      6.0M         0      6.0M   0% /memrec

Как я вижу в гугле, есть проблема с инодами. Хорошо, я бегу

for i in /*; do echo $i; find $i | wc -l; done

Выход следующий:

/arm
      14
/bin
      81
/boot
      1
/capture
      2
/dev
    310
/disk
      9
/etc
     57
/hisi-pci
     13
/hisi-pci-wifi
     12
/home
      1
/komod
     72
/lib
     52
/lib64
      1
/linuxrc
      1
/lost+found
      1
/mempic
      5
/memrec
      5
/mm.sh
      1
/mnt
      1
/nfsroot
      1
/onvif
      2
/opt
      1
/param
     10
/proc
find: /proc/598/task/598/fd/56: No such file or directory
  16957
/root
      2
/sbin
     56
/share
      1
/sys
   1350
/syslog
      6
/tmp
      1
/usr
    171
/var
     17
/web
    522

Итак, в каталоге proc я вижу много каталогов 42, 443, 454, 548 и т. д. - только цифры. Если я зайду в любой из этих каталогов, я увижу там тот же контент:

/proc/580 $ ls -l
-r--------    1 root     root            0 Jul 14 17:51 auxv
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:48 cmdline
lrwxrwxrwx    1 root     root            0 Jul 14 17:51 cwd -> /usr
-r--------    1 root     root            0 Jul 14 17:51 environ
lrwxrwxrwx    1 root     root            0 Jul 14 17:51 exe -> /usr/hh580
dr-x------    2 root     root            0 Jul 14 17:51 fd
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 maps
-rw-------    1 root     root            0 Jul 14 17:51 mem
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 mounts
-rw-r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 oom_adj
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 oom_score
lrwxrwxrwx    1 root     root            0 Jul 14 17:51 root -> /
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 smaps
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:48 stat
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 statm
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 status
dr-xr-xr-x    3 root     root            0 Jul 14 17:51 task
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 wchan

Например, есть содержимое каталога «задача»:

/proc/580/task $ ls
580
/proc/580/task $ cd 580
/proc/580/task/580 $ ls
auxv       environ    maps       oom_adj    smaps      status
cmdline    exe        mem        oom_score  stat       wchan
cwd        fd         mounts     root       statm
/proc/580/task/580 $ ls -l
-r--------    1 root     root            0 Jul 14 17:51 auxv
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 cmdline
lrwxrwxrwx    1 root     root            0 Jul 14 17:51 cwd -> /usr
-r--------    1 root     root            0 Jul 14 17:51 environ
lrwxrwxrwx    1 root     root            0 Jul 14 17:51 exe -> /usr/hh5800
dr-x------    2 root     root            0 Jul 14 17:51 fd
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 maps
-rw-------    1 root     root            0 Jul 14 17:51 mem
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 mounts
-rw-r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 oom_adj
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 oom_score
lrwxrwxrwx    1 root     root            0 Jul 14 17:51 root -> /
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 smaps
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 stat
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 statm
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 status
-r--r--r--    1 root     root            0 Jul 14 17:51 wchan

Можно ли удалить любой из этих файлов (или ссылок), чтобы система могла создать новый файл? Я действительно не знаю Linux, и я хотел бы создать только файл...